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워트 · 20260318
### 사업 내용 요약 회사 개요:
- 상호명: 주식회사 워트
- 설립일: 2014년 07월 14일
- 대표이사: 김철수
- 주소: 서울특별시 강남구 테헤란로 219 (선릉역 인근)
- 업종: 반도체 장비 제조 및 판매, 기계장치 제조 및 판매, 반도체 및 기계장치 임대업, 부동산 임대업 등 관련 사업 주요 사업 내용: 1. 반도체 및 디스플레이 공정 환경제어 시스템 개발 및 판매:
- 주요 제품:
- 초정밀 온습도 제어장비 (THC)
- 팬 필터 유닛 (FFU)
- 초정밀 항온기 (TCU)
- 주요 고객사:
- 삼성전자, SK하이닉스, 세메스 등 다수의 반도체 장비 제조업체 2. THC (초정밀 온습도 제어장비) 주요 적용 분야:
- 반도체 공정:
- Photo공정: 웨이퍼 표면에 PR 용액 도포 및 건조 과정에서 파티클 및 정밀한 온도/습도 제어
- HBM 반도체 공정: 웨이퍼 처리 후 현상 과정에서 정밀한 환경 제어
- 특징:
- 온도 정밀도: ±0.05°C
- 습도 정밀도: ...